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氣體稀釋校準器

更新時間:  2022-04-22

產(chǎn)品型號:  Model 4010L

產(chǎn)品報價:  

所  在  地:  北京市朝陽區(qū)望京西園222號星源國際D座1503室

產(chǎn)品特點:  稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM;
源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM;
4路校準氣入口和1路吹掃口;
1路稀釋氣入口,5路輸出口和1路排空口

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產(chǎn)品概述

稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM;
源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM;
4路校準氣入口和1路吹掃口;
1路稀釋氣入口,5路輸出口和1路排空口

稀釋入口:1路標準;

源氣入口:4路標準,1路吹掃;

稀釋氣質(zhì)量流量控制:0-10SLM(0-20SLM可選);

源氣氣質(zhì)量流量控制:0-100SCCM/0-2SLM;

流量精度:≤±1%FS;

流量重復:≤±0.15%FS;

   性:≤±0.5%FS;

入口壓力:20-35 PSIG;

多路輸出:標準6個輸出口;

可選件:內(nèi)置臭氧發(fā)生器

5SLPM下0.05-1.5ppm;1%SP或5SLPM下2ppb

紫外吸收光度計

量程:0-0.5,1.0,2.0ppm

內(nèi)置滲透管氣體發(fā)生器


內(nèi)置臭氧發(fā)生器參數(shù):

輸出:5SLPM下0.05-1.5ppm;

精度:1%SP或5SLPM下2ppb;

流量:100±1 SCCM;

內(nèi)置紫外吸收光度計參數(shù):

量程:0-0.5,1.0,2.0ppm;

線性:±1ppb或±1%FS;

精度:±1ppb;

內(nèi)置滲透爐參數(shù):

材質(zhì):玻璃或特氟龍;


內(nèi)置臭氧發(fā)生器參數(shù):

輸出:5SLPM下0.05-1.5ppm;

精度:1%SP或5SLPM下2ppb;

流量:100±1 SCCM;

內(nèi)置紫外吸收光度計參數(shù):

量程:0-0.5,1.0,2.0ppm;

線性:±1ppb或±1%FS;

精度:±1ppb;

內(nèi)置滲透爐參數(shù):

材質(zhì):玻璃或特氟龍;


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